Большая советская энциклопедия - фоторезист
Фоторезист
фоторезист
Фоторезист (от фото... и англ. resist – сопротивляться, препятствовать), полимерный светочувствительный слой, нанесенный на поверхность полупроводниковой пластины с окисной пленкой. Ф. используются в полупроводниковой электронике и микроэлектронике (см., например, Планарная технология) для получения на пластине «окон» заданной конфигурации, открывающих доступ к ней травителя. В результате экспонирования Ф. через наложенный на него стеклянный шаблон нужного рисунка ультрафиолетовым излучением (иногда электронным лучом) свойства его меняются: либо растворимость Ф. резко уменьшается (негативный Ф.), либо он разрушается и становится легко удалимым (позитивный Ф.). Последующая обработка растворителем образует в Ф. «окна» на необлученных участках негативного Ф. или облученных участках позитивного Ф. Типичные Ф.: негативные – слои поливинилового спирта с солями хромовых кислот или эфирами коричной кислоты, слои циклизованного каучука с добавками, вызывающими «сшивание» макромолекул под действием света; позитивные – феноло- или крезолоформальдегидная смола с о-нафтохинондиазидом. См. также Фотолитография. Лит.: Фотолитография и оптика, М. – Берлин, 1974; Мазель Е. З., Пресс Ф. П., Планарная технология кремниевых приборов, М., 1974.
Рейтинг статьи:
Комментарии:
Вопрос-ответ:
Похожие слова
Ссылка для сайта или блога:
Ссылка для форума (bb-код):
Самые популярные термины
1 | 4924 | |
2 | 3039 | |
3 | 3012 | |
4 | 2840 | |
5 | 2833 | |
6 | 2799 | |
7 | 2735 | |
8 | 2721 | |
9 | 2607 | |
10 | 2533 | |
11 | 2354 | |
12 | 2226 | |
13 | 2188 | |
14 | 2184 | |
15 | 2156 | |
16 | 2072 | |
17 | 2064 | |
18 | 2049 | |
19 | 2034 | |
20 | 1990 |